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单晶硅片的制造2016/03/15

集成电路(IC)是现代信息产业和信息社会的基础。IC技术是推动国民经济和社会信息化发展最主要的高新技术.也是改造和提升传统产业的核心技术。IC所用的材料主要是硅、锗和砷化镓等,硅片是IC制造的关键基础材料。高质量的硅片是芯片制造和IC发展的基础;制造IC的硅片,不仅要求极高的平面度,极小的表面粗糙度,而且要求无加工损伤层完美镜面的加工质量及保证加工质量的高度一致性。


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